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自動橢圓偏振測厚儀

簡要描述：產(chǎn)品特點：儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

  • 產(chǎn)品型號：TPY-2型
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新日期：2024-12-18
  • 訪  問  量：3984

詳細介紹

品牌TP/拓普價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

產(chǎn)品詳細資料


  • 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。

  • 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。


測量范圍薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10偏振器方位角范圍0°-180°讀取分辨率為0.05°
入射光波長632.8nm偏振器步進角0.014°/步
入射角調(diào)節(jié)范圍20°- 90°精度≤0.05°測量膜厚±0.5nm
光學(xué)中心高80mm折射率重復(fù)性精度±0.05
測量厚度zui小示值≤1nm儀器測量精度±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
允許樣品尺寸φ10-φ140mm，厚度≤15mm外形尺寸580×390×320（mm）
度盤刻度每格1度主機重量28kg



TPY-2實驗主機、電控系統(tǒng)、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件

* 計算機及打印機（需另配）


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