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天津拓普橢圓偏振測厚儀

簡要描述:近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù),如:布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。

  • 產(chǎn)品型號:TPY-1型
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2024-12-18
  • 訪  問  量:3015

詳細(xì)介紹

品牌TP/拓普價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn);

  • 光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高;

  • 儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件,方便用戶使用。


規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):

  • 測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;

  • 折射率范圍:1-10

  • 測量zui小示值:≤1nm

  • 入射光波長:632.8nm

  • 光學(xué)中心高:80mm

  • 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm

  • 偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°

  • 測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:±1nm和±0.01

  • 入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°

  • 主機(jī)重量:25kg


成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、計(jì)算軟件

外形尺寸:680*390*320mm





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